Датчик теплопроводности MTCS2601 для обнаружения утечек или давления

MTCS2601 Чувствительный элемент на кремниевой основе в керамическом корпусе SMD

Датчики MTCS2601 состоят из микромашинного датчика теплопроводности, использующего четыре резистора Ni-Pt, изготовленных с использованием технологий MEMS. Датчик установлен в миниатюрном корпусе SMD, доступном на ленте и катушке. Этот датчик теплопроводности MEMS, совмещенный с простыми низкоэнергетическими стандартными интегральными схемами CMOS, является отличным выбором для OEM-датчиков утечки, где критически важны размеры, или миниатюрных вакуумметров, работающих по принципу Пирани и требующих сверхнизкого энергопотребления, долгой службы и отсутствия технического обслуживания. Применения: основной контроль давления в суровых условиях с ограничениями по энергопотреблению и размерам, или детектирование утечки газа или влаги в замкнутом объеме, или проникновения.

Применения датчика теплопроводности MTCS2601
?  Основной контроль вакуума по принципу Пирани. Этот датчик легко устанавливается в клапане давления или непосредственно в вакуумных трубах или системах, таких как небольшие механические насосные системы, вакуумные насосы и аналитические приборы.
?  Миниатюрный SMD-датчик утечки для контроля целостности замкнутых систем или приборов при заданном давлении, способный
обнаружить дефекты, такие как коррозия или просто открытие коробки (силоизмерители; системы маховиков, дьюары…)

Датчик теплопроводности MTCS2601Характеристики
?  Датчик теплопроводности для измерения основного вакуума
?  Кремниевое устройство в керамическом корпусе SMD. Поставка на ленте и катушке
?  Малые размеры, совместимые с измерением в очень малом объеме
?  Низкое энергопотребление и короткие временные константы
?  Оптимальная чувствительность в диапазоне от 10-2 до 10+2 мбар. Возможно расширение диапазона до 10-4 до атмосферного давления
?  Низкая стоимость при массовом применении
?  Прочный датчик MEMS, работающий по физическому принципу Пирани (нагревательный провод) без химических реакций, основанный на изменении теплопроводности газа в зависимости от давления
?  Диапазон измерений от 10-4 до 1000 мбар с превосходной воспроизводимостью
?  Температурная компенсация с превосходным совпадением компенсационных и нагревательных резисторов на одном кремниевом кристалле
?  Ультрамалый объем газа в датчике, такой как <0.1 cm3 
?  Robust and long MTBF (> 30’000 hs) due to physical resistive sensing principles
?  Ultra-low power sensor consumption in operation (<6 mW) due to the use of MEMS based micromachined silicon sensor with small heated mass.
?  Ultra-fast response time <50 ms
?  Insensitive to mounting position
?  Gold contact version upon request for corrosive gas environment
?  Compatible with a simple constant excess temperature operation circuit

MTCS2601 Thermal Conductivity Sensor Electrical specification 

MTCS2601 Thermal Conductivity Sensor Absolute maximum ratings